Tabelas de atenuacao com uma faixa de energia mais amplas sao dadas em

http://physics.nist.gov/PhysRefData/XrayMassCoef/tab3.html

Por exemplo, para o silício, com densidade rho = 2,33 g/cm^3 e potencial de ionizacao médio I=173eV, 

o  mass attenuation coefficient é u/rho=  3.207e-1 (I/I_0 = exp [-(u/rho)*x], x=rho*t, t=espessura.

Logo , para 300 um de silício, temos I/I_0= exp[-3.207e-1 *2,33*300e-4]=0.978 

6.00000E-02

3.207E-01

1.434E-01

Achei também essa figura em http://www.carroll-ramsey.com/tutor1.htm, que mostra uma eficiencia de 3%.